以下の分野を重点的に支持する。
ハイエンド汎用チップや専用チップ、及び化合物半導体装置、ハイエンドパワーデバイスなどのチップ設計。
シリコン系集積回路、ハイエンド電子部品、及び窒化ガリウムや炭化ケイ素などの化合物半導体の製造と試験。ウェハレベルのチップサイズパッケージ(wlcsp)、3Dパッケージ、チップレットとなどの先進パッケージング技術、及び電子設計自動化(EDA)ツール、重要なIPコア技術の開発と応用。
エッチング、薄膜堆積、イオン注入、検査・計測などの中核的な装置と重要な半導体材料の研究開発と量産化。